据 Tom’s Hardware(https://www.tomshardware.com/tech-industry/semiconductors/asmls-planned-low-na-euv-machine-price-hikes-reportedly-frustrate-tsmc-lithography-machine-maker-comes-knocking-to-make-bank-on-tsmcs-profitable-fabs-potentially-costing-the-taiwanese-chipmaker-billions)报道,荷兰光刻技术专家ASML计划大幅提高其低NA EUV系统(极紫外光刻)的价格。这些设备对于制造最先进的半导体芯片至关重要,尤其是在5纳米以下工艺的生产中。
低NA EUV技术的背景与重要性
低NA EUV系统具有更高的数值孔径(NA),这使得芯片曝光的分辨率和生产效率得到提升。ASML开发这项技术是为了满足半导体行业对更小、更高性能芯片日益增长的需求。低NA EUV机器的生产效率提升,使得ASML能够提高这些设备的售价。
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